蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。

处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平，

结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

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视频作者：安徽富通环保节能科技股份有限公司

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。由于国家加强了对煤矿的安全要求，因而用水环真空泵，特别是大型水环真空泵抽除气体已成为煤矿行业必须的安全要求，真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。

 由于国家加强了对煤矿的安全要求，因而用水环真空泵，特别是大型水环真空泵抽除气体已成为煤矿行业必须的安全要求，真空泵相关下游应用行业保持快速增长，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。